SemiPOL è in grado di eseguire la rettifica e la lucidatura di precisione di vari materiali (circuiti integrati, wafer di semiconduttori, componenti ottici e fibre ottiche, strutture petrografiche, componenti metallici di precisione, ecc.) per analisi microscopiche (SEM, FIB, TEM, ecc.). La precisione del target può raggiungere il livello del micron. Viene utilizzato principalmente per la rettifica e la lucidatura parallele, l'assottigliamento quantitativo, il taglio continuo e altre applicazioni di precisione. Grazie all'aggiunta di accessori e dispositivi, può semplificare e rendere più pratica la rettifica e la lucidatura di componenti complessi e di forma speciale.

SemiPOL può monitorare la quantità di materiale rimosso in tempo reale o impostare la quantità di materiale macinato e ottenere un funzionamento non presidiato. Il motore servoazionato può controllare la velocità di rotazione e l'ampiezza di oscillazione della testa di posizionamento per migliorare la planarità e la finitura di levigatura e lucidatura.