SemiPOL, mikroskobik (SEM, FIB, TEM, vb.) analiz için çeşitli malzemelerin (entegre devreler, yarı iletken gofretler, optik bileşenler ve optik fiberler, petrografik yapılar, hassas metal parçalar, vb.) hassas taşlama ve parlatma işlemlerini gerçekleştirebilir. Hedef doğruluk mikron seviyesine ulaşabilir. Esas olarak paralel taşlama ve parlatma, kantitatif inceltme, sürekli dilimleme ve diğer hassas uygulamalar için kullanılır. Daha fazla aksesuar ve fikstürle, karmaşık ve özel şekilli parçaların taşlanmasını ve parlatılmasını daha kolay ve daha rahat hale getirebilir.

SemiPOL, çıkarılan malzeme miktarını gerçek zamanlı olarak izleyebilir veya öğütülen malzeme miktarını ayarlayabilir ve gözetimsiz çalışma elde edebilir. Servo tahrik motoru, taşlama ve cilalamanın düzgünlüğünü ve son halini iyileştirmek için konumlandırma kafasının dönüş hızını ve salınım genliğini kontrol edebilir.