SemiPOL yüksek hassasiyetli taşlama ve parlatma ekipmanı, çeşitli malzemeler için hassas yarı otomatik numune hazırlama işlemini gerçekleştirebilir ve entegre devreler, yarı iletken yongalar, optik bileşenler ve optik fiberler, petrografik fazlar, hassas metal parçalar vb. gibi çeşitli malzemeler için yüksek hassasiyetli taşlama ve parlatma işlemini gerçekleştirebilir. İşlenen malzemeler doğrudan SEM, FIB, TEM vb. gibi mikroskobik analizler için kullanılabilir. Hedef doğruluğu mikron seviyesine ulaşabilir ve esas olarak yüksek hassasiyetli düzlem kantitatif inceltme operasyon senaryolarında kullanılır. Ayrıca, daha fazla aksesuar ve fikstürle eşleştirilerek karmaşık ve özel şekilli yüzeylerin taşlanması ve parlatılması daha kolay ve rahat bir şekilde gerçekleştirilebilir. Ekipmanın aşağıdaki özellikleri vardır:
💠 Taşlama diski boyutu: 8″ (Φ203mm) veya 10″ (Φ254mm), düzlük <2μm; Taşlama diski hızı: 0-350rpm, ileri/geri;
💠 Tıkanıklık ve drenaj 10mm, çözünürlük 1um, kararlı doğruluk ±2um;
💠 Yaygın olarak kullanılan 16 set taşlama ve parlatma işlemi parametresini kaydedebilir;
💠 Büyük çaplı yan deşarjlı su çıkışı, tıkanması kolay değildir ve hızlı bir şekilde boşaltılır;
💠 Tak-çalıştır musluk tasarımı, diskin içinde temizlik ve bakım için uygundur.
