đ Bei Goldlegierungsblechen handelt es sich im Allgemeinen um dĂŒnne Blechmaterialien aus Goldlegierungen, die zum Verbinden, Befestigen oder Verpacken elektronischer Komponenten usw. verwendet werden. Aufgrund der extrem hohen elektrischen LeitfĂ€higkeit, der guten WĂ€rmeleitfĂ€higkeit, der hohen chemischen StabilitĂ€t, der guten FlexibilitĂ€t und DuktilitĂ€t von Gold wird die OberflĂ€che der Goldlegierungsbleche nach der Vergoldung hĂ€ufig in der mikroelektronischen Verpackung und der Herstellung optoelektronischer GerĂ€te verwendet.
Um die Beschichtungsdicke der Goldlegierungsbleche zu messen, werden diese zur Probenvorbereitung poliert: Da die Proben sehr klein und leicht sind, wird ein X-förmiger Probenhalter zur Fixierung verwendet, um ein Aufschwimmen der Probe im flĂŒssigen Epoxidharz zu verhindern. Transparentes, langsam aushĂ€rtendes Epoxidharz TJ2226 wird mit der Druck-Kalteinbettungsmaschine ThetaMount kombiniert. AnschlieĂend erfolgt die Probenvorbereitung mit der Doppelscheiben-Poliermaschine Alpha 208 mit Doppelsteuerung. Die einzelnen Schritte sind wie folgt:
1⣠Planschleifen mit Siliziumkarbid-Schleifpapier P800/P1200/P2000
2⣠Grobpolieren mit YS-Poliertuch + 3-Mikron-Diamant-Poliersuspension
3⣠Abschlusspolitur mit ET-Poliertuch + 1-Mikron-Aluminiumoxid-Poliersuspension
Die Untersuchung erfolgt mit dem metallografischen Mikroskop MN80. Bei 500-facher VergröĂerung ist die graue Beschichtung auf der ProbenoberflĂ€che mit einer Dicke von 2â3 ÎŒm deutlich zu erkennen. Die Goldbeschichtung muss im Rasterelektronenmikroskop (REM) stĂ€rker vergröĂert werden, um sichtbar zu sein.